On-line在線薄膜厚度檢測(cè)方案

2023-06-12 15:04:21 Lucy

簡(jiǎn) 介

優(yōu)尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年11月，注冊(cè)于中國(guó)香港，是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。

翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類(lèi)精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供一對(duì)一銷(xiāo)售服務(wù)，技術(shù)支持，備件管理和咨詢(xún)服務(wù)。

什么是Parylene ?

聚對(duì)二甲（Poly－para－ xylylene；簡(jiǎn)稱(chēng)（ parylene）是一種高分子聚合物，在中國(guó)又稱(chēng)為＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美國(guó) union Carbide Co．開(kāi)發(fā)應(yīng)用的一種新型敷形涂層材料根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同， Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類(lèi)型。

常用派瑞林材料基本特性

(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強(qiáng)30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機(jī)矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項(xiàng)性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎(chǔ)上提升起來(lái)的,己經(jīng)代替了C-N粉生產(chǎn)用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強(qiáng)應(yīng)用于戶(hù)外產(chǎn)品, 材料成本偏高客戶(hù)暫時(shí)很難接受單價(jià).

什么是Parylene C?

膜厚測(cè)量?jī)x|環(huán)境改善|Filmetrics

Parylene C 是系列中具有商業(yè)價(jià)值的成員。它由相同的單體制成，只是將其中一個(gè)芳香烴氫原子用一個(gè)氯原子所取代了。

綜合了優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能，對(duì)潮濕和腐蝕性氣體有很低的滲透性。

可以提供真正的無(wú)針孔覆形隔離。滿(mǎn)足美軍標(biāo)MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。

Parylene 特性

Parylene沈積可以經(jīng)由活潑的單體（ monomer）氣體，聚合于物體表面上，而不同于一般經(jīng)由液體涂層的方法制備。

其活性分子在被涂裝的對(duì)象表面生成完全披覆的聚合物薄膜，可涂裝到任何形狀的表面面，且不產(chǎn)生死角，包括括尖銳的棱角、隙縫內(nèi)部與細(xì)微的針孔中，

膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的部位，薄膜厚度由1um－50um。

Parylene 行業(yè)應(yīng)用

圖片關(guān)鍵詞

Parylene制程工藝介紹

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Parylene采用化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）。

配積過(guò)程分為三步驟：
1．真空條件下, 以120℃將固態(tài)粉末狀的對(duì)二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;

2．以650℃ 將氣態(tài)的對(duì)二甲苯的二聚物 ,裂解為對(duì)二甲苯 (para-xylylene) 的活性單體(monomer);

3．氣態(tài)活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對(duì)二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

Parylene 制程設(shè)備生產(chǎn)管控三要素

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Parylene 產(chǎn)品不良的3種特征

Parylene 行業(yè)的龍頭

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日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購(gòu)美國(guó)特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。

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生產(chǎn)過(guò)程中容易出現(xiàn)的問(wèn)題及監(jiān)管

問(wèn)題：

1 .鍍膜過(guò)程材料分解純度不夠（缸體內(nèi)壓力控制，到時(shí)厚度均勻性差
2. 材料在缸體停留時(shí)間過(guò)長(zhǎng) ，導(dǎo)致產(chǎn)品發(fā)白
3. 產(chǎn)品缸內(nèi)擺涉及原材料氣相流動(dòng)，也會(huì)對(duì)產(chǎn)品的厚度均勻性產(chǎn)生影響
4. 生產(chǎn)過(guò)程中堵缸，產(chǎn)品膜厚不增長(zhǎng)
5. 擋風(fēng)板結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)很重要，不合理會(huì)殘留材料會(huì)導(dǎo)致送料管堵塞

溫度，壓力管控、厚度在線監(jiān)控

產(chǎn)品發(fā)白，發(fā)藍(lán)，產(chǎn)品附著力差、膜厚不均勻.

Filmetrics –在線測(cè)量的優(yōu)勢(shì)

無(wú)損，非接觸式測(cè)量、預(yù)警

1.生產(chǎn)產(chǎn)品過(guò)程監(jiān)控—實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù)，提升產(chǎn)品品質(zhì)
2.提升生產(chǎn)效率— 設(shè)定生產(chǎn)指標(biāo) ，報(bào)警提示
3.節(jié)省材料成本— 縮小產(chǎn)品指標(biāo)公差，材料節(jié)省可見(jiàn)
4.減少人工成本— 監(jiān)控室直接在線數(shù)據(jù)監(jiān)管
5.堵缸、停缸監(jiān)控— 節(jié)省材料，與人工挽救不良率
6.給產(chǎn)品設(shè)定精確的厚度范圍
7.方便不同產(chǎn)品工藝的調(diào)整

Filmetrics –生產(chǎn)過(guò)程在線監(jiān)控與測(cè)量的生產(chǎn)線布置示意圖

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